描述了一种用于检查样本的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包括：束源，所述束源用于发射带电粒子束；电极，所述电极用于影响所述带电粒子束；以及阻尼单元，所述阻尼单元设在所述电极上以用于抑制所述电极的振动。此外，描述了一种具有电极的物镜模块...

描述了用于带电粒子束装置的磁性透镜部件、透镜和带电粒子束装置。所述磁性透镜部件包括：线圈载体，所述线圈载体具有截锥形主体；导线，所述导线被配置为围绕所述线圈载体提供线圈；以及卷绕元件，所述卷绕元件至少部分地包围所述截锥形主体，所述卷绕元...

描述一种用于用初级带电粒子小束阵列对样本进行检查的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括：带电粒子束源，用于产生初级带电粒子束；多孔径板，具有至少两个开口以产生带电粒子小束阵列，带电粒子小束阵列至少具有在样本上具有第一分辨率的第一小束和在样...

一种带电粒子束装置，所述带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射带电粒子束；可移动台，所述可移动台包括具有至少第一孔径阵列和第二孔径阵列的孔径阵列组件，所述可移动台被配置为使所述孔径阵列组件与所述带电粒子束对准，并且至...

描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置...

公开了一种带电粒子束布置及扫描电子装置。所述带电粒子束布置包括：带电粒子源，所述带电粒子源包括冷场发射器；限束孔，所述限束孔在所述带电粒子源与磁性聚光透镜之间；所述磁性聚光透镜，所述磁性聚光透镜包括第一内极件和第一外极件，其中所述带电粒...

描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器和多束带电粒子束装置。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部...

描述了一种用于带电粒子束装置的带电粒子束转储器。所述束转储器包括：环形主体，所述环形主体具有内周壁，所述内周壁限定用于使所述初级带电粒子子束通过的开口环带，所述环形主体进一步具有外周壁和底壁；环形电极，所述环形电极部分地在所述环形主体上...

描述一种多束带电粒子束装置。所述多束带电粒子束装置包括：带电粒子源，所述带电粒子源被配置为发射初级带电粒子束；孔隙布置，所述孔隙布置具有开口，所述孔隙布置被配置为至少产生所述初级带电粒子束的第一子束和第二子束；以及消隐装置，所述消隐装置...

公开了一种带电粒子束布置、其操作方法及扫描电子装置。所述带电粒子束布置包括：带电粒子源，所述带电粒子源包括冷场发射器；限束孔，所述限束孔在所述带电粒子源与磁性聚光透镜之间；所述磁性聚光透镜，所述磁性聚光透镜包括第一内极件和第一外极件，其...

本公开内容提供一种带电粒子束装置(100)。带电粒子束装置(100)包括：带电粒子源(20)，经配置以发射带电粒子束(14)；聚光透镜布置(110)；孔布置(120)，经配置以产生带电粒子束(14)的两个或更多个小束，其中孔布置(120...

描述一种带电粒子束装置(100)，所述带电粒子束装置包括：束源(110)，被配置成产生沿着光轴(A)传播的带电粒子束(105)；具有第一数量的孔径(125)的孔径装置(120)，被配置成从带电粒子束(105)形成第一数量的小束(135)...