本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种管式PECVD氮化硅渐变膜工艺，通过控制氨气硅烷分别以固定斜率增加和减少来达到氨气硅烷比不断增加，使得沉积的氮化硅膜为折射率由高到低不断变化，沉积的氮化硅膜为连续渐变膜，可以达到接近硅片基底...

本发明提供一种石墨舟饱和工艺，通过使用15％‑20％氢氟酸去除石墨舟片表面沉积的氮化硅，再使用纯水对石墨舟片进行漂洗，清洗完成后，用烘箱对石墨舟片进行烘干，使用PECVD对其进行预处理，通入硅烷和笑气N2O，开放射频功率，使其结构间二氧...

本发明提供一种PERC电池背面钝化工艺，在perc电池制程过程中，经制绒、扩散、洗磷，再洗磷后先在背面钝化层氧化硅，然后加上氧化铝，热处理工艺，背面氮化硅使用四层以及多层，在氧化铝钝化前加一步氧化硅钝化，可以使氧化铝厚度降低从而减少了氧...

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种用于PECVD自动化上下石墨舟的装置，包括底座、门形架、左机械臂和右机械臂，门形架固定设置在底座上，左机械臂可上下滑动的设置在门形架的左外侧，右机械臂可上下滑动的设置在门形架的右外侧...

本实用新型涉及太阳能电池硅片加工设备技术领域，尤其涉及管式PECVD进气排布结构，将原先的单一炉内底部进气口改变为炉口处上部和两侧等距离排布3个进气口，工艺时同时进气样式，这样的排布方式第一可以保证在炉口端进气的均匀性，在抽气泵不断将气...

本发明涉及一种太阳能电池正极印刷工艺，首先将网版、刮刀和敷料刀安装就位，然后向网版中加入所使用的高纯度银浆，硅片从前道通过皮带传送至激光发射器下，利用激光能量将硅片表面的氮化硅膜去除，将硅片通过皮带传送至印刷台面，印刷头下降后通过敷料刀...

本发明涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种高效电池退火工艺，通过对背钝化后的硅片进行升温烘干，通过负压通气，在步骤4)至6)中一直保持负压状态，将水汽彻底去除干净；通过梯度降温的方式，能够将硅片体内的杂质更充分地析出，减少缺陷与复...

本发明涉及太阳能电池片扩散技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片湿氧扩散工艺，采用湿氧氧化，能够提高沉积速率，降低时间，提高硅片氧化膜的均匀性。

本实用新型提供了一种低压扩散风冷型炉门，安装在低压扩散炉炉体上，炉体开口处设置有炉门夹持工具，包括由炉门夹持工具夹持的金属炉门和球形石英炉门，金属炉门表面具有散热孔，金属炉门外侧连接有向金属炉门散热孔内吹风的风机；球形石英炉门包括设置一...

本实用新型提供了一种压杆周转车，包括框型设置的车身，车身下底面转动连接有滚轮，车身的上顶面、下底面、前侧面和后侧面分别为密封面板，车身前侧面和后侧面外表面分别固定有扶杆，车身左侧面与右侧面则分别开合设有推拉门，车身上顶面的下表面分别固定...

本实用新型提供了一种低压扩散尾气收集装置，连接在石英反应管出气端，包括依次管路联通的压力监控模块、废液收集瓶、冷凝瓶、高精过滤器，高精过滤器出气端与真空泵连接，真空泵出气端与酸排连接；废液收集瓶为内部中空具有腔体的瓶体，瓶体内装填有孔状...

本实用新型涉及一种硅片槽式设备所用机械臂挂钩，包括钩体和设在钩体前端面用于垂吊花篮的钩尖，所述的钩体后端为具有连接螺纹的安装部，钩体前端为锥形部，连接部与锥形部之间具有连接部，所述的钩尖内端侧的径向顶部与钩体的锥形部前端面之间转动连接或...

本实用新型提供了一种光伏电池生产用蜂窝状滚轮，包括滚轮本体，滚轮本体两端分别固定有滚动轴，滚轮本体内部中空具有棒状内腔，棒状内腔内固定有空心棒体，空心棒体为正六边形轴棒，且空心棒体轴向贯穿具有灌注孔，灌注孔沿空心棒体径向截面为正六边形，...

本发明涉及太阳能电池硅片生产设备技术领域，尤其涉及一种改良型雾化喷淋结构，通过在喷淋长管内设置了第一内管和第二内管，提高了现有的喷淋压力与雾化能力，能够让硅片表面一些附着的脏污清洁更干净，并降低液体介质的使用量。

本发明涉及一种扩散炉管的保养方法，包括：步骤一：扩散炉开机后对扩散炉内部进行梯度升温；步骤二：扩散炉关机前对扩散炉内部进行梯度降温；通过关闭炉门，将高温炉管与低温的车间隔开，防止湿气进入炉管，从源头阻隔磷酸的产生，减少腐蚀与堵塞，延长炉...

本实用新型涉及黑硅扩孔技术领域，尤其是一种用于黑硅制备工艺中的扩孔槽，包括主槽、副槽及制冷机，主槽上具有开口向上的反应腔，副槽内具有密闭的容纳腔，主槽位于副槽的上方，主槽的上端开设有与反应腔连通的溢流孔，溢流孔通过溢流管道与容纳腔连通；...

本实用新型涉及太阳能电池片生产辅助设备技术领域，尤其涉及一种100片花篮测量治具，通过定期对产线上的花篮使用该治具测量，从而解决肉眼无法判断花篮齿距、齿杆变形而导致的自动化设备无法正常装卸硅片的问题，来提升设备的工作效率和产品的良率。

本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域，尤其是涉及一种石英舟传输系统，包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手，所述机械手设置在所述插片机和若干所述扩散炉之间，所述机械手与所述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台，所述检测装置与所...

本发明涉及一种人工智能生产线控制方法，包括建立数据云、分析数据以及反馈闭环，使得人工反馈闭环最终量化为SPC转入自动反馈闭环，自动反馈闭环会随着时间的推移越来越完善，以此形成一个良性循环，使得人工智能能不断优化迭代，最终通过人工智能可以...

本实用新型涉及一种太阳能电池自动分片设备，通过控制部分控制上料区将装满硅片的花篮输送至下片区，下片区将花篮内的硅片逐一卸下并输送至缓存区，缓存区将硅片输送至分片区中的移动机构，然后再由分片机构移送至上片区，并通过上片区将硅片放置在花篮上...