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本发明微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法是：先称取氧化锑质量百分含量为0.1～1.0%的ATO粉体，然后按ATO粉体总质量的0.5～1.0%分别称取氧化锰和氧化铜粉体作为复合掺杂改性剂；再将上述粉体与有机溶剂和混料球一起球磨，三...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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