下载提升MOSFET性能和NBTI的方法和结构的技术资料

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本发明提供了提升MOSFET性能和NBTI的方法和结构,并公开了形成p型场效晶体管(pFET)结构的方法的一个实施例。该方法包括:在半导体衬底上形成掩模层,掩模层包括开口,开口露出半导体衬底的半导体区;通过掩模层的开口对半导体衬底执行n型掺...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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