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带电粒子束装置制造方法及图纸
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下载带电粒子束装置的技术资料
文档序号:9923942
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近年来,扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术,但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此,对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明的目的是提供一种带电粒子束装置,其具备用于使任何人...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。
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