近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本发明专利技术的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置的用户范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。因此，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。本专利技术的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习功能。为了解决上述课题，设置聚焦调整及像散调整的练习单元。其特征在于，根据用户的操作设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，按照设定的聚焦条件、X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，显示在画面上。【专利说明】带电粒子束装置
本专利技术涉及一种对带电粒子束装置的带电粒子束调整技术的掌握进行辅助的功倉泛。
技术介绍
以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置在试样上的期望的区域(视野)扫描带电粒子束，并将从该扫描区域放射的带电粒子信号与扫描位置对应地记录，由此获取观察位置的图像。试样上的束直径和束形状对画质有很大影响，因此装置使用者要实施聚焦调整和像散(Stigma)调整。对于像散调整，需要进行X方向像散修正条件和Y方向像散修正条件这2个参数调整，因此加上聚焦调整，应该调整的参数为3个。调整3个参数并不容易实施，成为获取图像的画质取决于装置使用者的熟练度的原因之一。因此推进了自动聚焦和自动像散修正这样的自动调整功能的开发，在以特定的试样为对象的检查装置和测量装置中实际得到使用。然而，在观察试样为大范围、以及通用性高的装置中自动调整经常失败，基本不使用自动调整功能。所以要求装置使用者尽快掌握手动调整技术。在专利文献1中提出了一种带电粒子束装置的仿真图像的显示方法及装置，其目的是对难以掌握的像差修正技术进行掌握、以及使其步骤的理解更容易。在专利文献2中提出了一种装置，其目的为通过将扫描电子显微镜的电子束的焦点位置、透镜强度进行可视化显示来帮助理解装置功能。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-302468号公报专利文献2:日本特开2010-157370号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题以往，扫描电子显微镜等带电粒子束装置价格昂贵，只有专家使用。但近年来，扫描电子显微镜等带电粒子束装置不再是只有有限的人使用的特殊装置，用户的范围扩大了。要求每个用户都要掌握手动调整技术，但将用于观察的参数全部调整为合适的值是非常困难的。尽管如此，以往参数调整技术只能通过积累装置的操作经验来掌握，对于初学者来说难以充分发挥装置的性能。尤其是聚焦条件、像散修正条件是观察所必需的，但如上所述必须同时调整的参数多达3个，所以对于不熟练的用户来说调整是困难的。并且，如果是聚焦、像散修正以外的参数，可以通过由熟练人员预先设定的方式来应对，但聚焦条件和像散修正条件需要经常调整。而且这些参数对获取图像的画质产生巨大影响。本专利技术的目的是提供一种带电粒子束装置，其具备用于使任何人都能容易地掌握手动调整技术的参数调整练习单元。用于解决课题的手段为了解决上述课题，在带电粒子束装置上装备聚焦调整及像散调整的练习功能。其特征为:根据用户的操作，设定物镜的聚焦条件和X方向像散修正器以及Y方向像散修正器的控制条件，根据所设定的聚焦条件和X方向像散修正条件以及Y方向像散修正条件的组，从存储装置读出与该控制条件对应的练习用图像，在画面上显示。专利技术的效果根据本专利技术，能够容易地理解调整的步骤和方针，因此能够容易地掌握手动调整技术。所以即使是初学者也能够充分地发挥装置性能。【专利附图】【附图说明】图1是根据本专利技术的扫描电子显微镜的概要结构图。图2是手动操作盘的概要结构图。图3是实施例1的聚焦/像散调整练习的流程图。图4是具备聚焦/像散调整练习功能的计算机的功能框图。图5是显示练习用图像的⑶I。图6是调整参数空间中的调整路径图。图7是实施例2的聚焦/像散调整练习的流程图。图8是表示调整参数空间中的图像准备区域的图。【具体实施方式】以下参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。以下说明的实施例中，作为需要进行聚焦调整及像散修正条件调整的带电粒子束装置的一个方式，以扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope:SEM)为例进行说明，但并不局限于此，也能够应用于例如将从液体金属离子源或气体离子源发射的离子束照射在试样上的聚焦离子束(Focused 1n Beam)装置。以下的实施例表示在带电粒子束装置上具备用于练习调整观察条件的练习功能的例子，而这些功能也可以通过程序动作，通过练习专用机等与带电粒子束装置分别设置的计算机来实现。在通过程序实现的情况下，也能够将现有的带电粒子束装置升级，使其具备本专利技术的练习功能。实施例1图1是表不本专利技术的扫描电子显微镜的一个例子的概要结构图。从电子枪1发射的一次电子束2通过会聚透镜3及物镜8会聚，通过上段偏转器6和下段偏转器7在试样9上扫描。从试样9发射的信号电子由检测器10检测，与扫描位置对应记录的信号被显示在图像显示装置18上。为了在试样9上将一次电子束2会聚为点状，设有X方向像散修正器4、Y方向像散修正器5，能够通过调整它们的控制条件来进行像散修正。另外能够通过调整会聚透镜3或者物镜8的励磁强度在试样上聚焦。以上的电子光学系统被容纳在扫描电子显微镜筒100中。另外，它们通过高电压控制电路11、会聚透镜控制电路12、Χ方向像散修正器控制电路13、Υ方向像散修正器控制电路14、偏转器控制电路15、物镜控制电路16、检测信号控制电路17，由计算机19控制。各控制电路可以分别设置，也可以设置在一块基板上，也可以包含在计算机19内。计算机19上连接有图像显示装置18、手动操作盘20、存储装置21、存储器22。通过手动操作盘20，装置的用户调整物镜8的聚焦条件以及X方向像散修正器4和Y方向像散修正器5的像散修正条件。本实施例中的练习用图像预先保存在存储装置21中。另外，如果计算机19连接在网络上，练习用图像也可以存储在与该网络连接的其他存储装置中。这里，练习用图像是指在以下说明的练习功能中按照用户的操作所显示的图像，各练习用图像与由聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件这3个组成的参数的组加以对应并预先存储。即，练习用图像也可以说是在用与该练习用图像加以对应的参数的组控制带电粒子束装置而通过带电粒子束照射来获取图像时预想能够获得的图像。练习用图像可以通过在由各个参数的组构成的条件下实际照射带电粒子束来预先获取，也可以利用仿真预先求出。最优的聚焦条件、像散修正条件根据各试样而不同，用户每次更换试样时需要将它们调整为最优值。另外，即使是相同试样，如果观察视野不同，则最优的聚焦条件、像散修正条件不同。用户在观看显示在图像显示装置18上的图像的同时，操作手动操作盘20来实施聚焦调整和像散修正条件调整。图2表示手动操作盘20的一个例子。聚焦调整旋钮31 —般连接在物镜8上，但与会聚透镜3连接也能够进行聚焦调整。X方向像散修正条件调整旋钮32和Y方向像散修正条件调整旋钮33通过计算机及各自的控制电路分别与X方向像散修正器4和Y方向像散修正器5连接。另外，包含本实施例在内，以下的实施例中通过手动操作盘20调整聚焦条件或像散修正条件，但并不本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带电粒子束装置，其在观察试样时需要进行聚焦条件及像散修正条件的调整，所述带电粒子束装置的特征在于，具备：物镜，其将带电粒子束会聚在所述试样上；X方向像散修正器，其调整X方向的像散；Y方向像散修正器，其调整Y方向的像散；控制部，其控制所述物镜的聚焦条件、所述X方向像散修正器的X方向像散修正条件以及所述Y方向像散修正器的Y方向像散修正条件；存储部，其存储与每个预先确定的聚焦条件、X方向像散修正条件、Y方向像散修正条件的组对应的练习用图像；操作部，其按照用户的操作设定所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件；以及显示部，其显示与通过所述操作部设定的所述聚焦条件、所述X方向像散修正条件、所述Y方向像散修正条件的组对应地从所述存储部读出的练习用图像。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：重藤训志，佐藤贡，饭泉纪子，能田弘行，西村雅子，渡边俊哉，许斐麻美，富田真一，多持隆一郎，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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