下载半导体器件的金属栅极结构的技术资料

文档序号:9866200

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本发明涉及集成电路制造,更具体而言,涉及金属栅极结构。半导体器件的示例性结构包括:衬底,该衬底包括分离并围绕P型有源区和N型有源区的隔离区;位于P型有源区上方的P型栅极结构中的P型功函数金属层,其中,所述P型功函数金属层包括第一底部和第一侧...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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