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本实用新型公开了一种基于结构共振测量气体悬浮颗粒浓度的MEMS传感器，包括一腔体，该腔体内形成有中空腔室，还包括过滤结构、气压产生结构、气体采样结构以及振动结构；所述过滤结构、气压产生结构相对设置在腔室的两端并与其相通，所述气体采样结构、振...
该专利属于深迪半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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