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本文提供了用于基板处理的静电夹具的实施方式。在一些实施方式中，静电夹具可包括：压带盘，所述压带盘用于支撑基板，所述压带盘由介电材料形成并且具有设置在所述压带盘内、紧邻所述压带盘的支撑表面的夹具电极，以当所述基板设置在所述压带盘上时静电地保持...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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