静电夹具组件制造技术

本文提供了用于基板处理的静电夹具的实施方式。在一些实施方式中，静电夹具可包括：压带盘，所述压带盘用于支撑基板，所述压带盘由介电材料形成并且具有设置在所述压带盘内、紧邻所述压带盘的支撑表面的夹具电极，以当所述基板设置在所述压带盘上时静电地保持所述基板；基座，所述基座具有环，所述环从所述基座延伸以支撑所述压带盘；以及间隔件，所述间隔件设置在所述基座与所述压带盘之间，以将所述压带盘支撑在所述基座上方，以使得在所述压带盘与所述基座之间形成间隙，其中所述间隔件紧邻所述压带盘的周缘支撑压带盘。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】静电夹具组件
本专利技术的实施方式大体涉及半导体处理设备。
技术介绍
传统的静电夹具构造通常包含陶瓷盘(disc)或者压带盘(puck)，所述陶瓷磁盘或压带盘安装在冷却板或其他静电夹具部件的顶上。然而，本专利技术人注意到通过以这种方式安装所述陶瓷压带盘，从所述压带盘传递到所述冷却板或其他静电夹具部件的热量限制所述压带盘可以升高到的温度，从而限制设置在所述压带盘上的基板可以被加热到的温度，由此限制可以用于处理的工艺参数的可用窗口(available window)。因此，本专利技术人提供了一种改进的静电夹具组件。
技术实现思路
本文提供了用于基板处理的静电夹具的实施方式。在一些实施方式中，静电夹具可包括:压带盘，所述压带盘用于支撑基板，所述压带盘由介电材料形成并且具有夹具电极，所述夹具电极设置在所述压带盘内、紧邻所述压带盘的支撑表面，以当基板设置在所述压带盘上时静电地保持所述基板；基座和环，所述环从所述基座延伸以支撑所述压带盘；以及间隔件，所述间隔件设置在所述基座与所述压带盘之间，以将所述压带盘支撑在所述基座上方，以使得在所述压带盘与所述基座之间形成间隙。在一些实施方式中，静电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电夹具，包括：压带盘，所述压带盘用于支撑基板，所述压带盘由介电材料形成并且具有设置在所述压带盘内、紧邻所述压带盘的支撑表面的夹具电极，以当所述基板设置在所述压带盘上时静电地保持所述基板；基座，所述基座具有环，所述环从所述基座延伸以支撑所述压带盘；以及间隔件，所述间隔件设置在所述基座与所述压带盘之间，以将所述压带盘支撑在所述基座上方，以使得在所述压带盘与所述基座之间形成间隙，其中所述间隔件紧邻所述压带盘的周缘支撑压带盘。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.01 US 61/504,000;2012.06.28 US 13/536,0981.一种静电夹具，包括: 压带盘，所述压带盘用于支撑基板，所述压带盘由介电材料形成并且具有设置在所述压带盘内、紧邻所述压带盘的支撑表面的夹具电极，以当所述基板设置在所述压带盘上时静电地保持所述基板； 基座，所述基座具有环，所述环从所述基座延伸以支撑所述压带盘；以及 间隔件，所述间隔件设置在所述基座与所述压带盘之间，以将所述压带盘支撑在所述基座上方，以使得在所述压带盘与所述基座之间形成间隙，其中所述间隔件紧邻所述压带盘的周缘支撑压带盘。2.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述间隔件是由钛制造的。3.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述间隔件具有压带盘支撑表面，所述压带盘支撑表面具有约0.1Omm至约0.1lmm的宽度。4.如权利要求1所述的静电夹具，其中所述间隙具有约1.25cm至约1.50cm的高度。5.如权利要求1到4中任意一项所述的静电夹具，进一步包括: 加热器，所述加热器嵌入在所述压带盘内。6.如权利要求5所述的静电夹具，其中所述加热器包括多个独立可控的加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：伯纳德·L·黄，乔斯·安东尼奥·马林，松·T·阮，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：