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检漏装置具有测试室(10),测试室与抽真空泵装置(14)连接用于抽真待测试空。此外,测试室(10)经由测试气体管路(20)与测试气体泵装置(18)连接。测试气体泵装置(18)在其主入口(28)处与测试气体检测器(30)连接,使得能够按逆流原...该专利属于厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司授权不得商用。
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