检漏装置和用于借助检漏装置来检验对象密封性的方法制造方法及图纸

检漏装置具有测试室（10），测试室与抽真空泵装置（14）连接用于抽真待测试空。此外，测试室（10）经由测试气体管路（20）与测试气体泵装置（18）连接。测试气体泵装置（18）在其主入口（28）处与测试气体检测器（30）连接，使得能够按逆流原理对测试气体进行检测。在测试气体管路（20）中设置有阀装置（38）。该阀装置具有测试气体室（44）用于缓存从测试室（10）中提取的测试气体。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检漏装置和用于借助检漏装置来检验对象密封性的方法
本专利技术涉及一种检漏装置以及一种用于借助于检漏装置来检验对象密封性的方法。
技术介绍
已知的逆流检漏装置，如例如在EP1585951中所描述的那样，使用涡轮分子泵来检漏。待测试的对象或者在其中设置有待测试的对象的测试室经由测试气体管路与预真空泵连接。此外，测试气体管路与涡轮分子泵的两个或更多个中间入口连接。此外，预真空泵与涡轮分子泵的出口连接。在涡轮分子泵的入口处设置有测试气体检测器、特别是设置在通过涡轮分子泵抽真空的室中。由此能够使用测试气体检测器，所述测试气体检测器具有非常高的敏感度。对特别是氦气的测试气体的检测通过如下方式进行，即测试气体能够逆着涡轮分子泵的主流动方向在涡轮分子泵内部向其入口流动并且通过测试气体检测器来检测。在EP1585951中，用于粗检对象的测试气体管路与涡轮分子泵的出口区域连接。由于测试气体管路与涡轮分子泵的出口区域连接，所以测试气体的逆流路径或者回流路径在涡轮分子泵内部比较长。在测试气体管路中以及在测试室或者待测试的对象中的压力较低时，才能够进行测试气体管路与涡轮分子泵的中间区域的连接，以至于逆流路径缩短。当测试气体管路中的压力在不考虑小偏差情况下对应于涡轮分子泵的中间区域中的压力时，测试气体才可以进入涡轮分子泵的中间区域。测试气体管路与另一个中间入口的连接（通过该连接进一步缩短逆流路径）因此在后续的时刻即当实现对检验压力的进一步下降时才又是可能的。由于特别是在开始检验时对象的逆流路径或者回流路径长，所以检验时间和响应时间较长。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提出一种检漏装置以及一种用于检验对象密封性的相应的方法，通过所述捡漏装置能够降减小检验时间。根据本专利技术通过具有权利要求1的特征的检漏装置或者通过根据权利要求7所述的用于借助于检漏装置来检验对象密封性的方法来实现所述目的的解决。根据本专利技术的检漏装置具有测试室，在所述测试室中设置有待测试的对象。可替选地，也可直接测试对象。抽真空泵装置与测试室或者对象连接用于抽真空。抽真空泵装置具有预真空泵，以至于测试室或者对象能够被抽真空直至到低的压力。在测试室或待检验的对象中，在此情况下实现如下压力，所述压力对应于背景信号到泄漏值的至少一个单倍的距离。测试气体管路与抽真空泵装置无关地与测试室或者对象连接。可替选地，该测试气体管路也能够与设置在测试室或对象与抽真空泵装置之间的管路连接，使得不必使两个管路与测试室连接。这特别是在与对象的直接连接的情况下是有利的，因为此后仅一个管路必须与对象连接，所述管路随后分支为通向抽真空泵装置的管路和测试气体管路。测试气体管路与测试气体泵装置的中间入口连接。测试气体泵装置在特别优选的实施形式中是涡轮分子泵必要时与Hohlweck级连接。在这里，为了实现低压力，涡轮分子泵或者Hohlweck-级的出口与预真空泵连接。测试气体检测器与测试气体泵装置的主入口，也就是说，特别是与涡轮分子泵的主入口连接。对测试气体的检测按逆流原理进行。这意味着，测试气体一方面通过中间入口流入并且沿主输送路径的方向向测试气体泵装置的出口输送。测试气体的小部分逆着主输送方向沿着逆流路径从中间入口流向主入口，并且因此能够被测试气体检测器检测。根据本专利技术，在测试气体管路中设置有具有测试气体室的阀装置。因此可能的是，来自于测试室或对象的测试气体被缓存在测试气体室中。被缓存的测试气体随后经由中间入口被输送给测试气体泵装置，并且沿着逆流路径流向测试气体检测器。本专利技术的主要优点在于，测试气体泵装置与抽真空泵装置无关地运行。因此可能的是，在测试气体泵装置中已实现相对低的压力，而在测试室本身中尚无相应的低压力必须处于主导。由于可在测试气体泵装置的区域中实现的低压力，可能的是，将测试气体泵装置的中间入口设置在主入口附近，使得逆流路径是短的。这引起检验时间显著地减小。显著减小尤其由于与测试室或者对象的体积相比在测试气体室中显著更小的体积而是可能的。处于测试气体室中的测试气体因此可以具有与测试气体泵装置中的压力相比明显更高的压力，而不会由此妨碍测试气体泵装置的功能性、特别是涡轮分子泵的功能性。情况如此是因为只有少量测试气体经由中间入口被输送给测试气体泵装置。在第一个优选的实施形式中，阀装置具有两个阀，在所述阀之间设置有测试气体室。为了以来自于测试室或对象的测试气体填充测试气体室，开启沿流动方向设置在测试气体室之前的第一阀，使得测试气体流入测试气体室中。在按时间后续的步骤中，必要时与在测试气体泵装置的区域中处于主导的压力有关地开启第二阀，使得少量测试气体从测试气体室向测试气体泵装置的中间入口流动。在开始检查密封性时，因此少量测试气体能够被输送给测试气体泵装置，所述测试气体泵装置已经被抽真空到非常低的压力上。因此可实现从中间入口到测试气体检测器的短的逆流路径。在这个检验期间，可以借助于抽真空泵装置进一步降低测试室或者对象中的压力。随后通过再次开启第一阀的方式从测试室或者对象中提取测试气体的另一个样品，使得测试气体在第二阀关闭时流入测试气体室中。接着，再次关闭第一阀而开启第二阀，使得测试气体向测试气体泵装置流动并且因此向测试气体检测器流动。因此以简单的方式可能的是，分级地检验对象的密封性。本专利技术的另一优点在于，仅少量测试气体被输送给测试气体泵装置并且就这点而言，在出现泄漏时也只有少量测试气体必须在检验接下来的对象之前从测试气体泵装置中排出。就此而言，根据本专利技术的检漏装置也在最短时间内又准备用于检测接下来的对象。在优选的实施形式中，阀装置与控制装置连接。在具有两个独立的阀的阀装置的第一优选实施形式中，在这里借助于控制装置对阀进行相应的控制，其中开启第一阀而关闭第二阀用于将测试气体输送给测试气体室，并且相应地为了将测试气体输送给测试气体泵装置，开启第二阀并且关闭第一阀。通过所述控制因此保证了，在任何时刻都不开启这两个阀，因为由此大量测试气体在可能相对高的压力下会在中间入口处流入测试气体泵装置中。这会导致测试气体泵装置的损伤，特别是在其是涡轮分子泵的情况下。此外，通过控制装置优选保证了，当第一阀关闭时，第二阀才开启。在本专利技术的另一种优选的实施形式中，阀装置具有带有集成的测试气体室的唯一的阀。该阀能够构成为，可通过推移一种双活塞，开启或者关闭所述阀的入口或者出口。对该阀的控制优选又借助于控制装置来进行，所述控制装置实施对双活塞的推移，类似于开启和关闭具有两个阀的阀装置的第一阀和第二阀。此外，本专利技术涉及一种用于借助于检漏装置来检验对象密封性的方法，其中在一种特别优选的实施形式中，使用上文中所描述的检漏装置来执行所述方法。按照根据本专利技术的方法，测试气体从测试室或者直接从待检验的对象中被提取到测试气体室中。接着，中断在测试气体室与测试室或对象之间的连接。被提取的测试气体随后从测试气体室被输送给测试气体泵装置。测试气体泵装置具有测试气体检测器或与测试气体检测器连接并且按逆流原理执行对测试气体的检测。对此测试气体优选经由测试气体泵装置的中间入口被输送给测试气体泵装置并且从测试气体泵装置沿主流动方向朝向测试气体泵装置的出口的方向，特别是朝向涡轮分子泵的出口的方向被泵送。一部分测试气体逆着主流动方向沿着逆流路径从中间入口流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检漏装置，具有：测试室（10）和/或待测试的对象，所述测试室或所述待测试的对象与抽真空泵装置（14，36）连接用于抽真空，与所述测试室和/或所述待测试的对象和测试气体泵装置（18）的中间入口（24）连接的测试气体管路（22），设置在所述测试气体泵装置（18）的主入口（28）处的测试气体检测器（30），其中所述测试气体泵装置（18）具有至少一个转子元件，使得主流动路径被定义为从所述主入口（28）沿着所述至少一个转子元件到出口（32），并且其中逆流路径从所述中间入口（24）延伸至所述主入口（28），以及设置在所述测试气体管路（20）中的阀装置（38），所述阀装置具有测试气体室（44），所述测试气体室用于缓存从所述测试室（10）或者待测试的对象中提取的、待输送给所述测试气体泵装置（18）的测试气体。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.07.14 DE 102011107334.91.一种检漏装置，具有：测试室和/或待测试的对象，所述测试室或所述待测试的对象与抽真空泵装置连接用于抽真空，与所述测试室和/或所述待测试的对象和测试气体泵装置的中间入口连接的测试气体管路，设置在所述测试气体泵装置的主入口处的测试气体检测器，其中所述测试气体泵装置具有至少一个转子元件，使得主流动路径被定义为从所述主入口沿着所述至少一个转子元件到出口，并且其中逆流路径从所述中间入口延伸至所述主入口，以及设置在所述测试气体管路中的阀装置，所述阀装置具有测试气体室，所述测试气体室用于缓存从所述测试室或者待测试的对象中提取的、待输送给所述测试气体泵装置的测试气体。2.根据权利要求1所述的检漏装置，其特征在于，所述阀装置在流动方向上在所述测试气体室之前具有第一阀并且在流动方向上在所述测试气体室之后具有第二阀。3.根据权利要求2所述的检漏装置，其特征在于，所述阀装置与控制装置连接，所述控制装置开启所述第一阀，用于从所述测试室和/或所述待测试的对象中提取测试气体，而开启所述第二阀，用于将所述测试气体输送给所述测试气体泵装置。4.根据权利要求3所述的检漏装置，其特征在于，通过所述控制装置保证所述第二阀在所述第一阀关...

【专利技术属性】
技术研发人员：格哈德·威廉·沃尔特，京特·霍尔斯坦，克里斯蒂安·拜尔，
申请(专利权)人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司，
类型：
国别省市：