本发明提供了一种真空泵系统，该真空泵系统具有用于对腔室(14)进行排空的主真空泵(10)。辅助泵(24)与主真空泵(24)的出口(16)连接。此外，控制装置(32、34)被提供用于使辅助泵(34)在存在于出口(16)处的压力的限定范围内...

本发明涉及一种真空泵，尤其是回转式叶片泵，其具有泵壳体(10)，其设置在抽吸室(12)中。在抽吸室(12)中设置有输送元件(14，16)。在抽吸室(12)的入口(22)处设有止回阀(28)。为了在入口(22)的区域中存在低压的情况下关闭...

一种具有对颗粒不敏感的第一真空泵(10)的真空泵系统。与第一真空泵(10)连接的第二真空泵(12)是对颗粒敏感的。连接元件(14)在这两个真空泵(10，12)之间构成为，使得所述连接元件建立刚性的连接并且承载第一真空泵(10)。此外，连...

为了清洁真空泵、尤其是霍尔维克泵，使待清洁的转子元件振动。这通过借助于控制装置(40)操控电磁体(38)实现，其中电磁体(38)尤其是磁轴承(16)的电磁体，其在壳体(10)中支承转子轴(12)。

一种用于泵吸轻气体的泵站，所述泵站具有：与待抽真空的腔室(10)连接的干燥压缩的第一泵(12)以及与干燥压缩的所述第一泵(12)连接的干燥压缩的第二泵(14)。泵站同样具有其它的与这些泵并联地或串联地设置的干燥压缩的泵。为了避免由于设有...

一种用于对腔室(10)抽真空的真空泵系统，所述真空泵系统具有主泵系统(12，14)，所述主泵系统与腔室(10)连接。辅助泵系统(20)与主泵系统(12，14)连接，其中辅助泵系统(20)具有喷射泵。借助于根据本发明的方法，根据在主泵系统...

一种真空泵，所述真空泵尤其为具有大的泵功率的旋转叶片泵，所述真空泵在壳体(10)中具有泵室(12)。在泵室(12)中设置有泵元件(14)。泵元件(14)由转子轴(22)承载。转子轴(22)与设置在泵壳体(10)之外的皮带轮(24)连接。...

一种旋片式真空泵在壳体(10)中具有抽吸室(12)。在抽吸室(12)中偏心地安装有转子(14)。滑片(18)可移动地与转子(14)连接。此外，排出通道(30)与抽吸室(12)和油腔(32)连接。在排出通道(30)和油腔(32)之间设置有...

一种真空泵，特别是干式压缩泵，其包括转子(12)，转子(12)被设置在泵壳体(16)中以将输送介质从真空泵的入口(22)输送到出口(24)。控制装置能控制该真空泵的转子(12)的旋转速度。此外，用于测量输送介质的导热性的装置(28、42...

检漏装置具有测试室（10），测试室与抽真空泵装置（14）连接用于抽真待测试空。此外，测试室（10）经由测试气体管路（20）与测试气体泵装置（18）连接。测试气体泵装置（18）在其主入口（28）处与测试气体检测器（30）连接，使得能够按逆...

一种检漏装置具有与测试腔室（42）经由测试气体管道（48）连接的前级真空泵。此外，设有高真空泵（10），在所述高真空泵的入口（36）处设置有测试气体检测器（38）。出口（34）与前级真空泵（40）连接。测试气体管道（44）为了粗略检查物...

一种用于高真空泵的定子元件在输送方向（26）上设置在最后一个转子元件下游。定子元件具有壳体元件（28），所述壳体元件与高真空泵的壳体（12）连接。在壳体元件（28）的内侧（30）上设置有多个在圆周方向上均匀分布地设置的定子连接片（32）。

用于真空泵、尤其涡轮分子泵的快速转动的轴的轴承装置，具有两个支承轴（10）的轴承元件（12）。两个轴承元件（12）中的至少一个具有：带有包围滚动体（22）的轴承外环（20）的轴承（16）。在泵壳体（14）和所述轴承外环（20）之间设置有...

螺杆真空泵具有设置在泵腔（10）中的螺杆转子（12、14）。螺杆转子（12、14）分别通过两个支承元件（20）支承在泵壳中，并且转子长度（l）与转子轴线的距离（d）的比大于3.0。此外，螺杆转子（12、14）具有可变的螺距、至少7个螺旋...

一种真空泵系统具有两个彼此连接的真空泵(12、35)。为了实现紧凑的真空泵系统，在直接与泵壳体连接的连接元件(22、38)处进行两个真空泵的连接，所述连接元件构成连接部位(34)并且上部的泵(35)的排气口法兰(46)直接置放在下部的泵...

本发明涉及一种真空泵，包括布置在泵送腔(12)中的泵送元件(14)。电马达(24)驱动所述泵送元件(14)之一。提供有变频器(30)以用于改变电马达(24)的旋转速度。变频器(30)布置在紧连于泵壳体(10)的变频器壳体(32)中。空气...

一种真空泵壳体，包括形成吸入室的泵壳体(26)。泵送元件设置在吸入室内。冷却元件(10)定位在泵壳体(26)的平面的外部面(30)上。冷却元件(10)具有朝向泵壳体(26)的外部面(30)开口的至少一个冷却通道(12)。本发明还涉及一种...

本发明涉及一种用于正容积式泵(10)的简单且节能的粗抽方法，用来在所述正容积式泵(10)的入口(18)与出口(20)之间产生最大压差(ΔPmax)，所述正容积式泵(10)的转速(Ω)被调节为适于要产生的所述最大压差(ΔPmax)，以使所...

一种螺杆式真空泵，特别地用于相对于大气压力进行压缩，该螺杆型真空泵包括布置在泵壳体(10)中的吸入腔(12)。相互啮合的两个螺杆型转子(14)布置在吸入腔(12)中。所述泵还包括卸压出口(26)，该卸压出口(26)包括布置在吸入腔(12...