温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种方块电阻测量设备及吸盘，属于集成电路领域。测量设备包括：吸盘，所述吸盘的内腔中设置有多条真空气路，所述吸盘吸附晶圆的表面设置有真空孔，多个所述真空气路与所述真空孔连通，在所述真空气路中有选择性的设置气体控制机构；真空气管，所...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。