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阶梯栅氧化层有源漂移区结构的N型LDMOS制造技术
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文档序号:9781732
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本实用新型公开了一种阶梯栅氧化层有源漂移区结构的N型LDMOS。以淡掺杂的硅基材料为最底层基础;淡掺杂的硅基材料的上层为N阱;N阱的上层包括多晶构成LDMOS的栅极,N阱、漂移区掺杂和浓N型构成LDMOS的漏极,P型的体区构成LDMOS的沟...
该专利属于无锡市晶源微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市晶源微电子有限公司授权不得商用。
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