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本实用新型涉及一种晶圆测试工具，特别涉及一种探针卡。包括印刷电路板、探针和探针固定部件，所述探针通过所述探针固定部件设置在所述印刷电路板上，所述探针贯穿所述探针固定部件，其特征在于：所述探针固定部件内设有与探针数目相同且材质相同的中空金属套...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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