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图案形成装置以及图案形成方法制造方法及图纸
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下载图案形成装置以及图案形成方法的技术资料
文档序号:9761722
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本发明的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端,并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二...
该专利属于株式会社捷太格特所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社捷太格特授权不得商用。
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