图案形成装置以及图案形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术的图案形成装置具备多个罐和电源装置。罐具有与形成有不同种类的皮膜的多个区域各自的轮廓形状相同形状的开口端，并在使这些开口端抵接于工件的表面W的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液。电源装置向作为第一电极的工件与多个罐内的第二电极的每一电极之间施加规定的电压。

【技术实现步骤摘要】

本申请引用2012年8月22日提交的日本专利申请2012-183261所公开的说明书、权利要求书、附图和摘要的全部内容。本专利技术涉及利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜在工件的表面获得规定皮膜图案的。
技术介绍
例如，为了减小金属制工件表面的摩擦阻力，有时在其表面形成树脂皮膜。作为用于形成这样的皮膜的方法公知一种电沉积。即，如图7所示，通过在蓄有包含树脂成分的电沉积液(电解液)90的水槽91内配置工件92和对置电极93，并通过向它们施加直流电压，能够使包含在电沉积液90中的树脂成分附着于工件92的表面，形成树脂皮膜。此外，作为利用电沉积在工件的表面形成皮膜的装置，例如已知特开2000 - 256895号公报(参照图1)所记载的装置。另外，如图8所示，在利用电沉积在工件95的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并利用这些皮膜形成规定的皮膜图案的情况下，如下所述，以往使用掩模。此外，在图8中，板状的工件95的表面被划分为9个区域Al~A9。在区域A2、A4、A6以及A8形成第一皮膜。在区域Al和A9形成有与第一皮膜种类不同的第二皮膜。在区域A3和A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案形成装置，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜来获得规定的皮膜图案，所述图案形成装置的特征在于，具备：多个罐，它们具有与形成不同种类的皮膜的所述多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于所述表面的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；和电源装置，其向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。

【技术特征摘要】
2012.08.22 JP 2012-1832611.一种图案形成装置，利用电沉积在工件的表面的多个区域形成不同种类的皮膜，并通过这些皮膜来获得规定的皮膜图案， 所述图案形成装置的特征在于，具备: 多个罐，它们具有与形成不同种类的皮膜的所述多个区域各自的轮廓形状为相同形状的开口端，并在使该开口端抵接于所述表面的状态下分别蓄积用于形成不同种类的皮膜的电沉积液；和 电源装置，其向作为第一电极的所述工件与所述多个罐内的各个第二电极之间施加规定电压。2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于， 所述电源装置同时向所述第一电极与所述多个罐内的各个所述第二电极之间施加电 压。3.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于， 还具备密封部，所述密封部防止所述罐内的电沉积液在使该罐的开口端抵接...

【专利技术属性】
技术研发人员：博伊科·斯托伊梅诺夫，山川和芳，铃木雅裕，松尾和昭，
申请(专利权)人：株式会社捷太格特，
类型：发明
国别省市：