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用于硅锭的柴氏生长的侧边进料系统技术方案
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下载用于硅锭的柴氏生长的侧边进料系统的技术资料
文档序号:9702227
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本发明揭露一种柴式生长系统,包括生长腔,隔离阀,含有原料的进料腔,以及进料机。该隔离阀置于该生长腔的至少一个侧边壁中,而该进料腔通过该隔离阀而真空密封至该生长腔。该进料机通过该隔离阀可插入至该生长腔且提供该原料至该生长腔。优选地,此系统能使...
该专利属于GT高级锆石有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过GT高级锆石有限责任公司授权不得商用。
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