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一种立体与平面分区方式的多气体独立通道的喷淋方法，主要解决现有的喷淋方法气体沉积的时间及反应条件不易控制及浪费不可再生特气资源的技术问题。该方法采用立体分区、平面分区或两种分区相结合方式，隔离出不同的气体路径。气体分别从各自独立的气体进口进...
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