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一种非接触式基板载具，用以吸附一基板，包括：一第一板状构件、一第二板状构件以及一吸引构件，其中第一、第二板状构件平行设置，且第一板状构件上的第一通孔与第二板状构件上的第二通孔形成一通道供吸引构件设置；载具自吸引构件的一进气孔通入气体并吹向基...
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