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中国科学院微电子研究所
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具有整流特性的阻变存储器器件及其制作法制造技术
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文档序号:9669968
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本发明涉及微电子技术以及存储器器件技术领域,公开了一种具有自整流特性的阻变存储器器件及其制作方法。该阻变存储器器件结构包括:下电极、上电极、以及包含在下电极与上电极之间的阻变存储层。本发明提出的阻变存储器器件结构与制备工艺简单、制造成本低,...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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