温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出一种加热装置，包括：加热组件阵列，加热组件阵列包括多个平行排列的加热组件；多个调功器，多个调功器中的一部分控制位于加热组件阵列中部的加热组件的功率，且另一部分控制位于加热组件阵列边缘的加热组件的功率；电源，用于为加热组件阵列和多个...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。