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一种具有W型有源区结构的带间级联激光器制造技术
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下载一种具有W型有源区结构的带间级联激光器的技术资料
文档序号:9619847
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本发明公开了一种具有W型有源区结构的带间级联激光器。该激光器是通过在GaSb衬底上,依次制备InAs/AlSb下限制层、GaSb下波导层、W型有源区、GaSb上波导层、InAs/AlSb上限制层和InAs接触层。W型有源区由InAs/AlS...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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