下载一种改善线端缩短效应的光学临近修正方法的技术资料

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一种改善线端缩短效应的光学临近修正方法,包括:根据报出点地坐标找出相应的线端图形,找出所有目标线端图形组,每个目标线端图形组中的两个线端图形不满足延伸方向相互平行且延伸方向处于同一直线上的条件;量测其中的两个目标线端本身长度、两个目标线端相...
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