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本发明提供一种衬底支撑设备以及衬底处理设备，包括：底板，经配置以将衬底支撑在所述底板上，且具有冷却气体流动通过的多个供应管；顶板，经配置以可卸除地耦接到所述底板，且具有空穴以使支撑在所述底板上的所述衬底的顶表面暴露；以及密封构件，经配置以耦...
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