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本发明涉及一种监控电子束扫描仪间匹配度的方法，用于监测第一电子束扫描仪与第二电子束扫描仪之间的匹配度，包括如下步骤：在不同枚CMOS晶圆的第一区域分别定义至少一测试单元；在各测试单元上分别形成导电层、介电层以及多个连接孔阻断缺陷；第一、第二...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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