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本发明公开了一种高速精密运动平台的两级光栅定位方法，该高速精密运动平台的两级光栅定位方法包括以下步骤：由增量光栅提供位置反馈信号，控制电机进行初级位置进给；切换位置反馈信号；采用绝对光栅的位置反馈信号进行闭环控制。本发明通过增量式光栅与绝对...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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