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本发明公开一种顶针装置，其包括顶针和顶针底座，所述顶针固定在顶针底座上，其特征在于，所述顶针装置还包括与所述顶针底座可拆卸连接的顶针保护装置，并且所述顶针保护装置被设置成当其连接到所述顶针底座上时其围绕在所述顶针的周围。本发明还公开一种下电...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。