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本发明涉及半导体技术领域，公开了一电子束缺陷扫描仪匹配度测试结构，包括第一、第二、第三灰阶度测试模块，分别包括具有第一、第二、第三灰阶度的金属连接通孔，基本涵盖了常规半导体器件中所涉及的具有不同扫描灰阶度的金属连接通孔结构，能够充分反应电子...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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