下载用于固化电介质膜的多步系统和方法的技术资料

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一种用于使电介质膜固化的多步系统和方法,其中该系统包括被配置成用于减少电介质膜中的污染物(例如水分)的量的干燥系统。该系统还包括与干燥系统耦合的固化系统,该固化系统被配置成通过紫外(UV)辐射和红外(IR)辐射处理电介质膜来固化该电介质膜。...
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