下载元件内埋式半导体封装件的制作方法的技术资料

文档序号:9528290

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本发明公开一种元件内埋式半导体封装件的制作方法。提供金属基板。形成一金属层于金属基板上,其中金属层包覆金属基板。金属层具有彼此相对的上表面与下表面及连接上表面与下表面的第一侧表面。形成图案化光致抗蚀剂层于金属层上,其中图案化光致抗蚀剂层暴露...
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