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本发明涉及一种减少晶圆葡萄球状缺陷的离子注入机，包括晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体，所述晶圆预装载腔体、传送腔体、制程腔体三者依次互连，所述传送腔体为长方形腔体，在所述传送腔体底部设有两个机械手臂，在所述传送腔体底部平滑板上设有金属板，...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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