下载伪晶型高电子迁移率晶体管和异质接面双极晶体管磊晶改良结构及其加工方法的技术资料

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一种伪晶型高电子迁移率晶体管和异质接面双极晶体管磊晶改良结构及其加工方法,其中前述改良结构包括有一基板、一伪晶型高电子迁移率晶体管结构层、一蚀刻终止分隔层以及一异质接面双极晶体管结构层;其中该伪晶型高电子迁移率晶体管结构层的结构包括有一缓冲...
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