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用于双探针原子力显微镜的激光测力系统技术方案
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下载用于双探针原子力显微镜的激光测力系统的技术资料
文档序号:9461778
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用于双探针原子力显微镜的激光测力系统,属于纳米结构或纳米器件三维操作技术领域,具体涉及原子力显微镜探针的测力技术。它为了解决传统的原子力显微镜(AFM)因不具备探针测力系统而不能实现纳米结构的三维操作的问题。本发明包括两套独立的激光力学子系...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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