下载一种半导体致冷件夹具的技术资料

文档序号:9450172

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本实用新型涉及一种半导体加工工具,具体地说涉及一种半导体致冷件夹具。一种半导体致冷件夹具,包括夹具本体,其特征在于:所述的夹具本体下部设有加热板,所述的加热板上部安装有夹具,所述的夹具两端设有连接柱,所述的连接柱下部固定在加热板上,上部安装...
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