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一种激光加工装置，将聚光点调整到晶片状加工对象物的内部而照射激光，在所述加工对象物的内部形成基于多光子吸收的改质区域，其特征在于，该激光加工装置具备：放大从激光光源射出的激光的光束尺寸的光束扩展器；将通过所述光束扩展器入射的 ...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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