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一种激光加工装置，把聚光点调整到晶片状加工对象物的内部而照射第一激光，在所述加工对象物的内部形成基于多光子吸收的改质区域，其特征在于，该激光加工装置具有：　　　　把所述第一激光、和用于测量所述的加工对象物的激光照射面的位移的第二激光在同一轴...
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