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一种基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置，所述上研磨盘的上方为动压盘，所述在线测量装置包括极距变化型电容传感器，所述极距变化型电容传感器包括相互针对设置的动极板和定极板，所述动极板布置在动压盘上，所述定极板布置在所述上研磨盘上，所述...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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