【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于电容传感器的上研磨盘浮离距离在线测量装置，所述上研磨盘的上方为动压盘，其特征在于：所述在线测量装置包括极距变化型电容传感器，所述极距变化型电容传感器包括相互针对设置的动极板和定极板，所述动极板布置在动压盘上，所述定极板布置在所述上研磨盘上，所述极距变化型电容传感器与运算放大器连接，所述的运算放大器与滤波器连接，所述的滤波器与A/D转换器连接，所述的A/D转换器与用于将送来的数据经过极距变化公式计算得到当前距离的单片机连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡东海，周海锋，文东辉，王扬渝，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：实用新型
国别省市：
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