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半导体晶片的切割方法以及用于该方法的半导体加工用切割带技术
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下载半导体晶片的切割方法以及用于该方法的半导体加工用切割带的技术资料
文档序号:9407330
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本发明提供一种半导体晶片的切割方法以及半导体加工用切割带,所述切割方法包括:(a)通过接合剂将支撑部件贴合在半导体晶片的电路面侧的工序;(b)对与该晶片的电路面相反一侧的背面进行薄片化加工的工序;(c)在与该晶片的电路面相反一侧的背面上,贴...
该专利属于古河电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。
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