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本发明提供了用于调整晶圆翘曲的方法和装置，该方法包括提供具有中心部分和边缘部分的晶圆以及提供其上具有用于保持晶圆的保持区的保持台。将晶圆放置在保持台上，其中中心部分高于边缘部分，此后将晶圆按压在保持区上，使得晶圆通过自吸力吸引并保持在保持台...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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