下载凹面光栅衍射特性检测装置的技术资料

文档序号:9404828

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一种凹面光栅衍射特性检测装置,其特征在于,包括:单色光发射部;检测对象安装部,被设置在所述单色光的光路上;探测部,用于探测所述单色光经过所述凹面光栅或所述凹面标准反射镜后所形成的出射光;驱动参数存储部,用于存储决定所述固定部和所述探测器位置...
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