凹面光栅衍射特性检测装置制造方法及图纸

技术编号:9404828 阅读:166 留言:0更新日期:2013-12-05 05:40
一种凹面光栅衍射特性检测装置,其特征在于,包括:单色光发射部;检测对象安装部,被设置在所述单色光的光路上;探测部,用于探测所述单色光经过所述凹面光栅或所述凹面标准反射镜后所形成的出射光;驱动参数存储部,用于存储决定所述固定部和所述探测器位置的位置参数;驱动部;获取计算机部,用于获取所述探测器探测到的光学参数并且根据所述光学参数来进行采集、记录、分析以及处理;控制部。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于凹面标准反射镜对凹面光栅的衍射特性进行检测的凹面光栅衍射特性检测装置,其特征在于,包括:单色光发射部,用于发射单色光;?检测对象安装部,被设置在所述单色光的光路上,包含设有所述凹面标准反射镜和与所述凹面标准反射镜反侧安装并固定的所述凹面光栅的固定部、调节所述固定部与所述单色光发射部之间距离和所述单色光与所述凹面光栅之间角度的第一底架部;探测部,用于探测所述单色光经过所述凹面光栅或所述凹面标准反射镜后所形成的出射光,包含接收所述衍射光的探测器、能调节所述探测器在与所述单色光相垂直的方向上和与所述单色光相平行的方向上位置的第二底架部;驱动参数存储部,用于存储决定所述固定部和所述探测器位置的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨海马黄元申张大伟杨晖洪瑞金赵曼彤裴梓任刘瑾马彩文王建宇
申请(专利权)人:上海理工大学
类型:发明
国别省市:

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