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一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置制造方法及图纸
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下载一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置的技术资料
文档序号:9381340
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本发明公开了一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置,其包括VCSEL面阵和微透镜阵列;其中,所述VCSEL面阵至少包括多个VCSEL单元,所述VCSEL单元用于发出圆化激光光束;所述微透镜阵列由多个微透镜构成,用于对所述VCSEL面阵输出...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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