一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置，其包括VCSEL面阵和微透镜阵列；其中，所述VCSEL面阵至少包括多个VCSEL单元，所述VCSEL单元用于发出圆化激光光束；所述微透镜阵列由多个微透镜构成，用于对所述VCSEL面阵输出的激光光束进行准直圆化后输出。该光源装置可以减少投影显示光路中的光学元件，缩短照明光路长度，并提高光能利用率。另外，VCSEL面阵可以减少VCSEL激光器之间的干涉性，弱化激光散斑，从而提高投影显示质量。本发明专利技术采用面阵列光源封装技术采用VCSEL，易于集成二维阵列，可以弥补单管发射功率不足的缺点；VCSEL，可在片测试，极大降低成本，并且容易模块化和封装。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于激光显示的红光半导体面阵光源装置，其包括VCSEL面阵和微透镜阵列；其中，所述VCSEL面阵至少包括多个VCSEL单元，所述VCSEL单元用于发出圆化激光光束；所述微透镜阵列由多个微透镜构成，用于对所述VCSEL面阵输出的激光光束进行准直圆化后输出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孔庆善，董辉，张运方，方青，刘育梁，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：