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本实用新型涉及一种超薄工件的电解加工装置，属于精密微细电化学加工领域。该装置主要包括两套三维微动控制台，第一套三维微动控制台上安装第一载物台（7）、第二套三维微动控制台上安装第二载物台（6）；上述第一载物台（7）用于加工时装夹纳米电极（12...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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