超薄工件的电解加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种超薄工件的电解加工装置，属于精密微细电化学加工领域。该装置主要包括两套三维微动控制台，第一套三维微动控制台上安装第一载物台（7）、第二套三维微动控制台上安装第二载物台（6）；上述第一载物台（7）用于加工时装夹纳米电极（12）；上述第二载物台（6）用于加工时安装金属圆环（14）。利用本装置能够保证超薄工件的直线度、平面度及平行度，避免因装夹产生形变等问题。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种超薄工件的电解加工装置，其特征在于：该装置主要包括两套三维微动控制台，第一套三维微动控制台由第一X轴（11）、第一Y轴（10）、第一Z轴（9）和安装于第一Z轴（9）上的第一压电陶瓷（8）组成，第二套三维微动控制台由第二X轴（1）、第二Y轴（2）、第二Z轴（3）和安装于第二Z轴（3）上的第二压电陶瓷（5）组成；该装置还包括安装于第一压电陶瓷（8）上的第一载物台（7）、安装于第二压电陶瓷（5）上的第二载物台（6），以及视觉辅助系统；上述第一载物台（7）用于加工时装夹纳米电极（12）；上述第二载物台（6）用于加工时安装金属圆环（14）；上述两套三维微动控制台中第一X轴（11）、第一Y轴（10）、...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孟岭超，曾永彬，曲宁松，朱荻，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：实用新型
国别省市：