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文档序号:9360644

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本发明提供一种具有降低位错密度的缓冲层的半导体元件。该半导体元件包括:衬底,在衬底上方形成的缓冲区域,在缓冲区域上形成的活性层,以及在活性层上形成的至少2个电极;缓冲区域至少具有一层依次层积具有第1晶格常数的第1半导体层,具有与第1晶格常数...
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