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一种3D磁传感器的形成方法，包括：提供衬底，在衬底上形成有绝缘层、位于绝缘层中的沟槽；形成磁性材料层，磁性材料层覆盖绝缘层、沟槽底部和侧壁，在磁性材料层上形成TaN层，在TaN层上形成刻蚀阻挡层；在刻蚀阻挡层上形成填充材料层，填充材料层填充...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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